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一、項(xiàng)目基本情況
項(xiàng)目編號：2025BFAHZ00496
項(xiàng)目名稱：安徽工業(yè)大學(xué)智慧教學(xué)及先進(jìn)技術(shù)設(shè)備更新項(xiàng)目（一）
首次公告日期：2025年03月28日
二、更正信息
更正事項(xiàng)：? 采購公告 ? 采購文件 □ 采購結(jié)果
更正內(nèi)容：
1、本項(xiàng)目招標(biāo)文件第三章采購需求-“▲X射線光電子能譜儀（XPS）”技術(shù)參數(shù)及要求修改如下： 序號 貨物名稱 技術(shù)參數(shù)及要求 1 ▲X射線光電子能譜儀（XPS） 1. 真空系統(tǒng) 1.1 分析室 1.1.1 真空腔體為厚度不小于 5mm 純?chǔ)探饘僦圃欤?極限真空≤5.0×10-10 mbar； 1.1.2 配置機(jī)械泵，渦輪分子泵（抽速260升/秒）及鈦升華泵各一套。 1.2 進(jìn)樣室 1.2.1 極限真空≤7.0×10-9 mbar； 1.2.2 配置渦輪分子泵和機(jī)械泵各一套； 1.3 樣品制備室 ●1.3.1 極限真空≤7.0×10-9 mbar； 1.3.2 配置渦輪分子泵和機(jī)械泵各一套； 1.4 配備自動(dòng)真空烘烤裝置； 1.5 真空監(jiān)測裝置：可實(shí)現(xiàn)大氣至1.0×10-10 mbar范圍內(nèi)壓力連續(xù)測量，同時(shí)各真空腔室壓力實(shí)時(shí)顯示于系統(tǒng)軟件界面上。 2. 單色化X射線源 2.1 X射線源類型：微聚焦單色化Al Kα X射線源 ●2.2 X射線源-源束斑規(guī)格（非成像尺寸）多檔可調(diào)，且可調(diào)檔位≥5檔； ●2.3 分析束斑規(guī)格（非成像尺寸）多檔可調(diào)，且可調(diào)檔位≥12檔； 2.4 最佳能量分辨率和靈敏度：以Ag 3d5/2峰為例，半高寬≤0.43 eV時(shí)，計(jì)數(shù)率≥90 kcps； 2.5 常規(guī)能量分辨率和靈敏度 2.5.1 以Ag 3d5/2峰為例，半高寬≤0.45 eV時(shí)，計(jì)數(shù)率≥160 kcps； 2.5.2 以Ag 3d5/2峰為例，半高寬≤0.60 eV時(shí)，計(jì)數(shù)率≥1800 kcps； 2.6 陽極靶靶點(diǎn)應(yīng)≥16個(gè)。 3. 能量分析器 3.1 180°半球型能量分析器，半徑≥150 mm； 3.2 能量掃描范圍：0 ~ 3000 eV； 3.3 通過能范圍：0 ~ 400 eV，連續(xù)可調(diào)； ●3.4 透鏡模式：配置磁透鏡模式和靜電模式。 4. 檢測器 4.1結(jié)構(gòu)組成：至少配置一塊可同時(shí)記錄光電子發(fā)射位置及其強(qiáng)度的檢測器； 4.2檢測器信號線性范圍：最高計(jì)數(shù)率≥107cps； 4.3 檢測器物理通道數(shù)至少滿足：128×128； ●4.4具備成像功能，對邊緣銳利的刃口樣品線掃描的最佳空間分辨率≤5.5μm； 5. 荷電中和系統(tǒng) 5.1 荷電中和系統(tǒng)適用于所有不導(dǎo)電樣品及粗糙表面的精準(zhǔn)荷電中和，無需調(diào)節(jié)電壓、束流和氣壓等操作； 5.2 結(jié)構(gòu)組成 5.2.1 提供單電子源，中和電子能量不大于5 eV； ●5.2.2 提供超低能離子源，中和離子能量不大于5 eV； ●5.3 能量分辨率和靈敏度： 對PET絕緣樣品，在O-C=O結(jié)構(gòu)中C 1s峰能量分辨（半高寬）≤0.68eV時(shí)，C-C/C-H結(jié)構(gòu)中 C 1s峰的靈敏度≥20 kcps。 6. 樣品控制和觀察系統(tǒng) 6.1 樣品臺(tái) 6.1.1 軸向：五軸樣品臺(tái)，即X、Y、Z方向移動(dòng)，傾斜和旋轉(zhuǎn)，由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制； 6.1.2 移動(dòng)功能：X方向移動(dòng)距離≥50 mm， Y方向移動(dòng)距離≥20 mm， Z方向移動(dòng)距離≥8 mm，移動(dòng)精度≤1 μm，傾斜精度≤1°； 6.2 樣品觀察 ●6.2.1 分析室：配置變焦CCD相機(jī)，通過軟件控制可在不同的放大倍率下實(shí)時(shí)觀察、精確定位分析位置和截取圖像；通過可變焦CCD相機(jī)和實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)確定分析位置，軟件可自動(dòng)確定最佳的分析高度； 6.2.2配置 CCD 相機(jī)，可觀察、精確定位分析位置和截取圖像； 6.3 進(jìn)樣室和樣品制備室均配置可一次裝入并存儲(chǔ)3個(gè)樣品條的多樣品停放臺(tái)。 7. 深度剖析離子槍 7.1 離子源類型：配置單Ar原子和團(tuán)簇Ar雙模式的復(fù)合離子源； 7.2 可使用氣體：Ar/Ar團(tuán)簇，用于XPS深度剖析； 7.3 單Ar離子能量在0.5 ~ 4.0 keV之間可調(diào)； 7.4 團(tuán)簇Ar離子能量在2.0 ~ 8.0 keV之間可調(diào)； 7.5 團(tuán)簇Ar離子團(tuán)簇?cái)?shù)目在500 ~ 2000之間可調(diào)； 7.6 氣體控制：軟件控制，配套高精度進(jìn)氣閥門和差分真空抽氣系統(tǒng)。 8. 離子散射譜（ISS）功能 8.1 離子源：可使用He氣作為分析離子源； ●8.2 能量分辨和靈敏度：使用1 keV的He離子入射到清潔的 Au 表面上，Au峰的能量分辨≤12 eV時(shí)其靈敏度≥25 kcps/nA。 9. 反射電子能量損失譜（REELS）功能 9.1 能量分辨率和靈敏度：對于干凈的銀樣品，能量分辨率為0.50 eV 時(shí)，靈敏度應(yīng)≥1000 kcps。 10. 紫外光電子能譜（UPS）功能 10.1 光源：全自動(dòng)He紫外光源； ●10.2 最佳能量分辨率和靈敏度：對Ag費(fèi)米邊，當(dāng)能量分辨率≤100 meV時(shí)，靈敏度（Ag4d）≥1 Mcps； 10.3系統(tǒng)配有滿足絕緣樣品UPS分析時(shí)荷電中和需要的靜電模式中和源。 11. 角分辨 XPS 功能 11.1 配置步進(jìn)馬達(dá)樣品托，最佳角度分辨≤1°； 11.2 內(nèi)置角分辨 XPS 數(shù)據(jù)處理功能，并能實(shí)現(xiàn)膜厚計(jì)算等功能。 12. 光纖導(dǎo)入模塊 12.1 該模塊需采用標(biāo)準(zhǔn)的 CF 接口，用于引入光纖； 12.2 預(yù)留光纖芯徑≥600 μm，波長范圍200~1200 nm，最大功率≥1 W； 12.3 配備一套線性驅(qū)動(dòng)和扭擺裝置，用于調(diào)節(jié)樣品上光斑位置及焦點(diǎn)； 12.4 配備氙燈光源，光譜能量連續(xù)輸出，能量范圍200-2000 nm。 13. 加熱制冷附件 13.1 分析室配備加熱制冷附件和控制軟件； 13.2 樣品托溫度調(diào)節(jié)范圍至少滿足：-100℃~325℃，自動(dòng)控溫，溫度控制精度1℃。 14. 等離子體清洗裝置 14.1 功能要求：需能夠有效清除腔體內(nèi)附著的污染物； 14.2 安裝法蘭：nw35cf全金屬密封法蘭，帶未漏閥。 15. 譜儀控制和數(shù)據(jù)處理 15.1 譜儀控制 15.1.1 譜儀參數(shù)設(shè)置、分析部件等均可通過系統(tǒng)軟件控制； 15.1.2 系統(tǒng)軟件具備可視化操作界面，實(shí)現(xiàn)對真空泵、閥門、真空規(guī)、離子槍、中和槍及加熱冷卻等控制； 15.1.3 儀器控制終端1臺(tái)，用于操控儀器運(yùn)行及數(shù)據(jù)收集，配置不低于8GB內(nèi)存/1TB硬盤/23 英寸顯示器； 15.2 數(shù)據(jù)處理 15.2.1 提供嵌入系統(tǒng)數(shù)據(jù)分析軟件中的完整XPS和ISS等數(shù)據(jù)庫，用戶可直接調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)譜圖數(shù)據(jù)與原始測試數(shù)據(jù)進(jìn)行對比； 15.2.2 數(shù)據(jù)處理終端1臺(tái)，用于數(shù)據(jù)處理和存儲(chǔ)，配置不低于8GB內(nèi)存/1TB硬盤/23 英寸顯示器，其中顯示器不少于2個(gè)； 15.2.3 軟件終生升級，提供正版不受限全功能完整版數(shù)據(jù)處理軟件包≥2個(gè)，（費(fèi)用含在報(bào)價(jià)中）。 16. 附件、備件及輔助設(shè)備 16.1 消耗品備件包3套（每套至少包括但不限于以下內(nèi)容：陽極靶套件× 1，單色陽極燈絲× 1，荷電中和器套件× 1，離子槍燈絲套件×2， REELS電子槍燈絲×1，鈦升華泵燈絲×6，機(jī)械泵油4升，循環(huán)水濾芯2個(gè)等），標(biāo)準(zhǔn)工具包1套，密封組件1套，減壓閥4個(gè)（材質(zhì)：黃銅×2，黃銅鎳電鍍×2）； 16.2 循環(huán)冷卻水系統(tǒng)：滿足陽極靶、渦輪分子泵和石英單色器冷卻的需要，恒溫范圍：8-35℃，循環(huán)泵流量：6.4 L/min； 16.3 不間斷電源系統(tǒng)： 功率不低于10kV不間斷電源1套，保證儀器待機(jī)時(shí)間≥6小時(shí)，工作時(shí)間≥1小時(shí)； 16.4 空氣/水分敏感樣品轉(zhuǎn)移倉2套，可完全放置于儀器主機(jī)的進(jìn)樣倉內(nèi)，具有高真空密封組件； 16.5 電動(dòng)粉末壓片機(jī)1套（壓力范圍 0-20噸）； 16.6 電子防潮柜1套（綜合控濕：45%-70% RH），電腦桌椅2套； 16.7 除濕機(jī)1臺(tái)（除濕量（L/D）≤30），彩色雙面激光打印機(jī) 1臺(tái)（打印速度：黑白和彩色均為 22頁/min；打印分辨率：最高可達(dá)1200×1200 DPI）； 16.8 設(shè)備安裝時(shí)必要的物理隔斷和線路。 17. 整體配置清單 17.1 XPS主機(jī)系統(tǒng) 1套 17.2 復(fù)合式離子刻蝕套件 1套 17.3 紫外光電子能譜套件 1套 17.4 分析室加熱冷卻套件 1套 17.5 空氣/水分敏感樣品轉(zhuǎn)移倉 2套 17.6 光纖導(dǎo)入系統(tǒng)（含氙燈光源） 1套 17.7 低溫等離子清洗系統(tǒng) 1套 17.8 循環(huán)冷卻水系統(tǒng) 1套 17.9 不間斷電源系統(tǒng) 1套 17.10 電動(dòng)粉末壓片機(jī) 1套 17.11 電子防潮柜 1套 17.12 消耗品備件包 3套 17.13 除濕機(jī) 1臺(tái) 2、本項(xiàng)目招標(biāo)文件第四章評標(biāo)方法和標(biāo)準(zhǔn)-“技術(shù)參數(shù)及要求”和“業(yè)績”評分項(xiàng)修改如下： 評分內(nèi)容 評分標(biāo)準(zhǔn) 分值范圍 技術(shù)參數(shù)及要求 根據(jù)投標(biāo)文件對招標(biāo)文件采購需求貨物需求表中的“●”指標(biāo)的響應(yīng)情況進(jìn)行評分： ●指標(biāo)，每滿足一項(xiàng)得5分，共10項(xiàng)，共計(jì)50分。 注：（1）如某項(xiàng)標(biāo)識(shí)中包含多條技術(shù)參數(shù)或要求，則該項(xiàng)標(biāo)識(shí)所含內(nèi)容均需滿足或優(yōu)于招標(biāo)文件要求，否則不予認(rèn)可。 （2）以投標(biāo)響應(yīng)表和貨物需求中要求提供的證明材料作為評審依據(jù)。 0-50分 業(yè)績 自2022年1月1日以來（以合同簽訂時(shí)間為準(zhǔn)），投標(biāo)人具有所投產(chǎn)品（同品牌可不同型號）的供貨安裝項(xiàng)目業(yè)績，每提供1個(gè)業(yè)績得 1 分，滿分5分。 注：投標(biāo)文件中提供業(yè)績合同及驗(yàn)收合格證明材料掃描件，如合同及驗(yàn)收合格證明材料中無法體現(xiàn)產(chǎn)品品牌、合同簽訂時(shí)間等評審因素，須另附業(yè)主單位蓋章的證明文件掃描件。 0-5分 3、本項(xiàng)目獲取招標(biāo)文件和提交（上傳）投標(biāo)文件截止時(shí)間（開標(biāo)時(shí)間）延期至：2025年5月13日11點(diǎn)00分。 4、本項(xiàng)目提交（上傳）投標(biāo)文件地點(diǎn)（開標(biāo)地點(diǎn)）變更為：合肥市濱湖新區(qū)南京路2588號要素交易市場A區(qū)（徽州大道與南京路交口）2樓8號開標(biāo)室。
更正日期：2025年04月27日
三、其他補(bǔ)充事宜
1、關(guān)于“▲X射線光電子能譜儀（XPS）”部分技術(shù)參數(shù)及要求的疑問。 答：（1）針對“樣品制備室”相關(guān)參數(shù)，該設(shè)備購置后交由校級分析測試平臺(tái)統(tǒng)一管理，并面向校內(nèi)所有院所的老師開放共享，由于該設(shè)備測試的樣品類型和成分復(fù)雜多樣化，系統(tǒng)要求配置樣品預(yù)制備室、多層樣品停放臺(tái)和等離子清洗，原因如下：①多級真空腔體可以最大限度避免樣品污染分析室（例如鈣鈦礦類含I元素樣品，預(yù)抽減少I元素遷移造成的污染），確保系統(tǒng)長期穩(wěn)定運(yùn)行；②采用預(yù)制備室和配套樣品臺(tái)可以有效提升測樣效率。預(yù)制備室多層樣品臺(tái)方便大批量樣品等離子處理，而在預(yù)制備室的清洗過程不影響進(jìn)樣室的正常樣品進(jìn)樣，提高測試效率；③在預(yù)制備室中配置等離子清洗可以保證等離子清洗不損傷進(jìn)樣室安裝的其他器件，如拍照相機(jī)、空氣/水分敏感樣品轉(zhuǎn)移倉裝置接口附件等，取消預(yù)制備室則不能同時(shí)滿足實(shí)現(xiàn)樣品等離子清洗處理功能常規(guī)的進(jìn)樣室功能，不能滿足基本的XPS樣品處理需要。安徽工業(yè)大學(xué)后期也會(huì)拓展更多原位功能，有預(yù)備室可以保留更多的擴(kuò)展功能。 （2）針對2.2和2.3條，①2.2條為X射線光斑尺寸規(guī)格，大尺寸光斑可以增強(qiáng)信號靈敏度提高微量元素的測試數(shù)據(jù)質(zhì)量，小尺寸光斑可以減少X射線光斑對敏感樣品的輻照損傷面積。因此要求X射線光斑需要涵蓋一定尺寸大小，以滿足不同類型樣品測試需要。由于各廠家設(shè)計(jì)不同，每個(gè)廠商的規(guī)格尺寸均已涵蓋了足夠大的尺寸范圍（數(shù)百微米）但仍存在一定差異，因此僅對最低可調(diào)檔數(shù)進(jìn)行了限定，以避免指定尺寸造成的參數(shù)偏向性，投標(biāo)產(chǎn)品可以滿足該檔位要求即可；②2.3條為分析面積尺寸規(guī)格，該規(guī)格可以通過調(diào)節(jié)不同X射線光斑尺寸實(shí)現(xiàn)，也可以通過調(diào)節(jié)光闌限定不同的分析面積實(shí)現(xiàn)。該條款是對X射線光斑尺寸規(guī)格的補(bǔ)充。由于各廠家設(shè)計(jì)不同，部分廠家的X射線光斑面積調(diào)節(jié)程度更靈活，而部分廠商的光源調(diào)節(jié)靈活程度不夠大，在固定X射線光斑尺寸下，通過調(diào)節(jié)光闌的方式對分析面積進(jìn)行限定，可以進(jìn)一步拓展分析面積的可選靈活性，彌補(bǔ)X射線光源調(diào)節(jié)靈活性的不足。此條款是為滿足不同特征尺寸大小樣品的測試需要，要求廠商提供一定的面積調(diào)節(jié)靈活性。由于各廠家設(shè)計(jì)不同，每個(gè)廠商的限定分析面積方式和具體規(guī)格不同，因此僅對分析面積可調(diào)檔數(shù)進(jìn)行了限定，以避免指定尺寸造成的參數(shù)偏向性，投標(biāo)產(chǎn)品可以滿足該檔位要求即可； （3）針對5.1條，我校要求設(shè)備具備精準(zhǔn)調(diào)控荷電的功能的設(shè)備，可以滿足我校在使用過程中面對不同樣品的需求，無需調(diào)節(jié)電壓、束流和氣壓等操作，也可以大大簡化設(shè)備操作。 （4）針對5.2.2條，使用離子協(xié)同電子進(jìn)行荷電中和的技術(shù)被廣泛用于XPS設(shè)備，配備離子中和槍能有效保證XPS分析有最大的樣品適用性范圍，避免電子過中和現(xiàn)象導(dǎo)致荷電偏移大幅干擾碳材料的C元素分析，符合測試平臺(tái)應(yīng)對各類樣品測試的基本要求。 上述參數(shù)的設(shè)置與實(shí)際需要相匹配，經(jīng)采購人確認(rèn)，市場上不少于三個(gè)品牌產(chǎn)品（賽默飛，費(fèi)勉，貝克斯帝爾等）滿足上述要求，無限制性，故招標(biāo)文件不修改。 注：（1）本項(xiàng)目實(shí)施全流程電子化交易，投標(biāo)文件實(shí)施網(wǎng)上遠(yuǎn)程解密，投標(biāo)人無需前往開標(biāo)現(xiàn)場。 （2）此公告視同采購文件的組成部分，與采購文件具有同等法律效力。請投標(biāo)人及時(shí)下載。
四、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系
1.采購人信息
名稱：安徽工業(yè)大學(xué)
地址：馬鞍山市花山區(qū)湖東北路400號
聯(lián)系方式：0555-2311291
2.采購代理機(jī)構(gòu)信息
名稱：安徽公共資源交易集團(tuán)項(xiàng)目管理有限公司
地址：合肥市濱湖新區(qū)南京路2588號（徽州大道與南京路交口）六樓
聯(lián)系方式：0551-66223922
3.項(xiàng)目聯(lián)系方式
項(xiàng)目聯(lián)系人：李工
電話：0551-66223923
附件：更正公告2.pdf