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一、項目基本情況
項目編號：2025BFAHZ00496
項目名稱：安徽工業(yè)大學(xué)智慧教學(xué)及先進技術(shù)設(shè)備更新項目（一）
首次公告日期：2025年03月28日
二、更正信息
更正事項：? 采購公告 ? 采購文件 □ 采購結(jié)果
更正內(nèi)容：
1、本項目招標(biāo)文件第三章采購需求-“▲X射線光電子能譜儀（XPS）”技術(shù)參數(shù)及要求修改如下： 序號 貨物名稱 技術(shù)參數(shù)及要求 1 ▲X射線光電子能譜儀（XPS） 1. 真空系統(tǒng) 1.1 分析室 1.1.1 真空腔體為厚度不小于 5mm 純μ金屬制造， 極限真空≤5.0×10-10 mbar； 1.1.2 配置機械泵，渦輪分子泵（抽速260升/秒）及鈦升華泵各一套。 1.2 進樣室 1.2.1 極限真空≤7.0×10-9 mbar； 1.2.2 配置渦輪分子泵和機械泵各一套； 1.3 樣品制備室 ●1.3.1 極限真空≤7.0×10-9 mbar； 1.3.2 配置渦輪分子泵和機械泵各一套； 1.4 配備自動真空烘烤裝置； 1.5 真空監(jiān)測裝置：可實現(xiàn)大氣至1.0×10-10 mbar范圍內(nèi)壓力連續(xù)測量，同時各真空腔室壓力實時顯示于系統(tǒng)軟件界面上。 2. 單色化X射線源 2.1 X射線源類型：微聚焦單色化Al Kα X射線源 ●2.2 X射線源-源束斑規(guī)格（非成像尺寸）多檔可調(diào)，且可調(diào)檔位≥5檔； ●2.3 分析束斑規(guī)格（非成像尺寸）多檔可調(diào)，且可調(diào)檔位≥12檔； 2.4 最佳能量分辨率和靈敏度：以Ag 3d5/2峰為例，半高寬≤0.43 eV時，計數(shù)率≥90 kcps； 2.5 常規(guī)能量分辨率和靈敏度 2.5.1 以Ag 3d5/2峰為例，半高寬≤0.45 eV時，計數(shù)率≥160 kcps； 2.5.2 以Ag 3d5/2峰為例，半高寬≤0.60 eV時，計數(shù)率≥1800 kcps； 2.6 陽極靶靶點應(yīng)≥16個。 3. 能量分析器 3.1 180°半球型能量分析器，半徑≥150 mm； 3.2 能量掃描范圍：0 ~ 3000 eV； 3.3 通過能范圍：0 ~ 400 eV，連續(xù)可調(diào)； ●3.4 透鏡模式：配置磁透鏡模式和靜電模式。 4. 檢測器 4.1結(jié)構(gòu)組成：至少配置一塊可同時記錄光電子發(fā)射位置及其強度的檢測器； 4.2檢測器信號線性范圍：最高計數(shù)率≥107cps； 4.3 檢測器物理通道數(shù)至少滿足：128×128； ●4.4具備成像功能，對邊緣銳利的刃口樣品線掃描的最佳空間分辨率≤5.5μm； 5. 荷電中和系統(tǒng) 5.1 荷電中和系統(tǒng)適用于所有不導(dǎo)電樣品及粗糙表面的精準(zhǔn)荷電中和，無需調(diào)節(jié)電壓、束流和氣壓等操作； 5.2 結(jié)構(gòu)組成 5.2.1 提供單電子源，中和電子能量不大于5 eV； ●5.2.2 提供超低能離子源，中和離子能量不大于5 eV； ●5.3 能量分辨率和靈敏度： 對PET絕緣樣品，在O-C=O結(jié)構(gòu)中C 1s峰能量分辨（半高寬）≤0.68eV時，C-C/C-H結(jié)構(gòu)中 C 1s峰的靈敏度≥20 kcps。 6. 樣品控制和觀察系統(tǒng) 6.1 樣品臺 6.1.1 軸向：五軸樣品臺，即X、Y、Z方向移動，傾斜和旋轉(zhuǎn)，由計算機自動控制； 6.1.2 移動功能：X方向移動距離≥50 mm， Y方向移動距離≥20 mm， Z方向移動距離≥8 mm，移動精度≤1 μm，傾斜精度≤1°； 6.2 樣品觀察 ●6.2.1 分析室：配置變焦CCD相機，通過軟件控制可在不同的放大倍率下實時觀察、精確定位分析位置和截取圖像；通過可變焦CCD相機和實時成像系統(tǒng)確定分析位置，軟件可自動確定最佳的分析高度； 6.2.2配置 CCD 相機，可觀察、精確定位分析位置和截取圖像； 6.3 進樣室和樣品制備室均配置可一次裝入并存儲3個樣品條的多樣品停放臺。 7. 深度剖析離子槍 7.1 離子源類型：配置單Ar原子和團簇Ar雙模式的復(fù)合離子源； 7.2 可使用氣體：Ar/Ar團簇，用于XPS深度剖析； 7.3 單Ar離子能量在0.5 ~ 4.0 keV之間可調(diào)； 7.4 團簇Ar離子能量在2.0 ~ 8.0 keV之間可調(diào)； 7.5 團簇Ar離子團簇數(shù)目在500 ~ 2000之間可調(diào)； 7.6 氣體控制：軟件控制，配套高精度進氣閥門和差分真空抽氣系統(tǒng)。 8. 離子散射譜（ISS）功能 8.1 離子源：可使用He氣作為分析離子源； ●8.2 能量分辨和靈敏度：使用1 keV的He離子入射到清潔的 Au 表面上，Au峰的能量分辨≤12 eV時其靈敏度≥25 kcps/nA。 9. 反射電子能量損失譜（REELS）功能 9.1 能量分辨率和靈敏度：對于干凈的銀樣品，能量分辨率為0.50 eV 時，靈敏度應(yīng)≥1000 kcps。 10. 紫外光電子能譜（UPS）功能 10.1 光源：全自動He紫外光源； ●10.2 最佳能量分辨率和靈敏度：對Ag費米邊，當(dāng)能量分辨率≤100 meV時，靈敏度（Ag4d）≥1 Mcps； 10.3系統(tǒng)配有滿足絕緣樣品UPS分析時荷電中和需要的靜電模式中和源。 11. 角分辨 XPS 功能 11.1 配置步進馬達樣品托，最佳角度分辨≤1°； 11.2 內(nèi)置角分辨 XPS 數(shù)據(jù)處理功能，并能實現(xiàn)膜厚計算等功能。 12. 光纖導(dǎo)入模塊 12.1 該模塊需采用標(biāo)準(zhǔn)的 CF 接口，用于引入光纖； 12.2 預(yù)留光纖芯徑≥600 μm，波長范圍200~1200 nm，最大功率≥1 W； 12.3 配備一套線性驅(qū)動和扭擺裝置，用于調(diào)節(jié)樣品上光斑位置及焦點； 12.4 配備氙燈光源，光譜能量連續(xù)輸出，能量范圍200-2000 nm。 13. 加熱制冷附件 13.1 分析室配備加熱制冷附件和控制軟件； 13.2 樣品托溫度調(diào)節(jié)范圍至少滿足：-100℃~325℃，自動控溫，溫度控制精度1℃。 14. 等離子體清洗裝置 14.1 功能要求：需能夠有效清除腔體內(nèi)附著的污染物； 14.2 安裝法蘭：nw35cf全金屬密封法蘭，帶未漏閥。 15. 譜儀控制和數(shù)據(jù)處理 15.1 譜儀控制 15.1.1 譜儀參數(shù)設(shè)置、分析部件等均可通過系統(tǒng)軟件控制； 15.1.2 系統(tǒng)軟件具備可視化操作界面，實現(xiàn)對真空泵、閥門、真空規(guī)、離子槍、中和槍及加熱冷卻等控制； 15.1.3 儀器控制終端1臺，用于操控儀器運行及數(shù)據(jù)收集，配置不低于8GB內(nèi)存/1TB硬盤/23 英寸顯示器； 15.2 數(shù)據(jù)處理 15.2.1 提供嵌入系統(tǒng)數(shù)據(jù)分析軟件中的完整XPS和ISS等數(shù)據(jù)庫，用戶可直接調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)譜圖數(shù)據(jù)與原始測試數(shù)據(jù)進行對比； 15.2.2 數(shù)據(jù)處理終端1臺，用于數(shù)據(jù)處理和存儲，配置不低于8GB內(nèi)存/1TB硬盤/23 英寸顯示器，其中顯示器不少于2個； 15.2.3 軟件終生升級，提供正版不受限全功能完整版數(shù)據(jù)處理軟件包≥2個，（費用含在報價中）。 16. 附件、備件及輔助設(shè)備 16.1 消耗品備件包3套（每套至少包括但不限于以下內(nèi)容：陽極靶套件× 1，單色陽極燈絲× 1，荷電中和器套件× 1，離子槍燈絲套件×2， REELS電子槍燈絲×1，鈦升華泵燈絲×6，機械泵油4升，循環(huán)水濾芯2個等），標(biāo)準(zhǔn)工具包1套，密封組件1套，減壓閥4個（材質(zhì)：黃銅×2，黃銅鎳電鍍×2）； 16.2 循環(huán)冷卻水系統(tǒng)：滿足陽極靶、渦輪分子泵和石英單色器冷卻的需要，恒溫范圍：8-35℃，循環(huán)泵流量：6.4 L/min； 16.3 不間斷電源系統(tǒng)： 功率不低于10kV不間斷電源1套，保證儀器待機時間≥6小時，工作時間≥1小時； 16.4 空氣/水分敏感樣品轉(zhuǎn)移倉2套，可完全放置于儀器主機的進樣倉內(nèi)，具有高真空密封組件； 16.5 電動粉末壓片機1套（壓力范圍 0-20噸）； 16.6 電子防潮柜1套（綜合控濕：45%-70% RH），電腦桌椅2套； 16.7 除濕機1臺（除濕量（L/D）≤30），彩色雙面激光打印機 1臺（打印速度：黑白和彩色均為 22頁/min；打印分辨率：最高可達1200×1200 DPI）； 16.8 設(shè)備安裝時必要的物理隔斷和線路。 17. 整體配置清單 17.1 XPS主機系統(tǒng) 1套 17.2 復(fù)合式離子刻蝕套件 1套 17.3 紫外光電子能譜套件 1套 17.4 分析室加熱冷卻套件 1套 17.5 空氣/水分敏感樣品轉(zhuǎn)移倉 2套 17.6 光纖導(dǎo)入系統(tǒng)（含氙燈光源） 1套 17.7 低溫等離子清洗系統(tǒng) 1套 17.8 循環(huán)冷卻水系統(tǒng) 1套 17.9 不間斷電源系統(tǒng) 1套 17.10 電動粉末壓片機 1套 17.11 電子防潮柜 1套 17.12 消耗品備件包 3套 17.13 除濕機 1臺 2、本項目招標(biāo)文件第四章評標(biāo)方法和標(biāo)準(zhǔn)-“技術(shù)參數(shù)及要求”和“業(yè)績”評分項修改如下： 評分內(nèi)容 評分標(biāo)準(zhǔn) 分值范圍 技術(shù)參數(shù)及要求 根據(jù)投標(biāo)文件對招標(biāo)文件采購需求貨物需求表中的“●”指標(biāo)的響應(yīng)情況進行評分： ●指標(biāo)，每滿足一項得5分，共10項，共計50分。 注：（1）如某項標(biāo)識中包含多條技術(shù)參數(shù)或要求，則該項標(biāo)識所含內(nèi)容均需滿足或優(yōu)于招標(biāo)文件要求，否則不予認可。 （2）以投標(biāo)響應(yīng)表和貨物需求中要求提供的證明材料作為評審依據(jù)。 0-50分 業(yè)績 自2022年1月1日以來（以合同簽訂時間為準(zhǔn)），投標(biāo)人具有所投產(chǎn)品（同品牌可不同型號）的供貨安裝項目業(yè)績，每提供1個業(yè)績得 1 分，滿分5分。 注：投標(biāo)文件中提供業(yè)績合同及驗收合格證明材料掃描件，如合同及驗收合格證明材料中無法體現(xiàn)產(chǎn)品品牌、合同簽訂時間等評審因素，須另附業(yè)主單位蓋章的證明文件掃描件。 0-5分 3、本項目獲取招標(biāo)文件和提交（上傳）投標(biāo)文件截止時間（開標(biāo)時間）延期至：2025年5月13日11點00分。 4、本項目提交（上傳）投標(biāo)文件地點（開標(biāo)地點）變更為：合肥市濱湖新區(qū)南京路2588號要素交易市場A區(qū)（徽州大道與南京路交口）2樓8號開標(biāo)室。
更正日期：2025年04月27日
三、其他補充事宜
1、關(guān)于“▲X射線光電子能譜儀（XPS）”部分技術(shù)參數(shù)及要求的疑問。 答：（1）針對“樣品制備室”相關(guān)參數(shù)，該設(shè)備購置后交由校級分析測試平臺統(tǒng)一管理，并面向校內(nèi)所有院所的老師開放共享，由于該設(shè)備測試的樣品類型和成分復(fù)雜多樣化，系統(tǒng)要求配置樣品預(yù)制備室、多層樣品停放臺和等離子清洗，原因如下：①多級真空腔體可以最大限度避免樣品污染分析室（例如鈣鈦礦類含I元素樣品，預(yù)抽減少I元素遷移造成的污染），確保系統(tǒng)長期穩(wěn)定運行；②采用預(yù)制備室和配套樣品臺可以有效提升測樣效率。預(yù)制備室多層樣品臺方便大批量樣品等離子處理，而在預(yù)制備室的清洗過程不影響進樣室的正常樣品進樣，提高測試效率；③在預(yù)制備室中配置等離子清洗可以保證等離子清洗不損傷進樣室安裝的其他器件，如拍照相機、空氣/水分敏感樣品轉(zhuǎn)移倉裝置接口附件等，取消預(yù)制備室則不能同時滿足實現(xiàn)樣品等離子清洗處理功能常規(guī)的進樣室功能，不能滿足基本的XPS樣品處理需要。安徽工業(yè)大學(xué)后期也會拓展更多原位功能，有預(yù)備室可以保留更多的擴展功能。 （2）針對2.2和2.3條，①2.2條為X射線光斑尺寸規(guī)格，大尺寸光斑可以增強信號靈敏度提高微量元素的測試數(shù)據(jù)質(zhì)量，小尺寸光斑可以減少X射線光斑對敏感樣品的輻照損傷面積。因此要求X射線光斑需要涵蓋一定尺寸大小，以滿足不同類型樣品測試需要。由于各廠家設(shè)計不同，每個廠商的規(guī)格尺寸均已涵蓋了足夠大的尺寸范圍（數(shù)百微米）但仍存在一定差異，因此僅對最低可調(diào)檔數(shù)進行了限定，以避免指定尺寸造成的參數(shù)偏向性，投標(biāo)產(chǎn)品可以滿足該檔位要求即可；②2.3條為分析面積尺寸規(guī)格，該規(guī)格可以通過調(diào)節(jié)不同X射線光斑尺寸實現(xiàn)，也可以通過調(diào)節(jié)光闌限定不同的分析面積實現(xiàn)。該條款是對X射線光斑尺寸規(guī)格的補充。由于各廠家設(shè)計不同，部分廠家的X射線光斑面積調(diào)節(jié)程度更靈活，而部分廠商的光源調(diào)節(jié)靈活程度不夠大，在固定X射線光斑尺寸下，通過調(diào)節(jié)光闌的方式對分析面積進行限定，可以進一步拓展分析面積的可選靈活性，彌補X射線光源調(diào)節(jié)靈活性的不足。此條款是為滿足不同特征尺寸大小樣品的測試需要，要求廠商提供一定的面積調(diào)節(jié)靈活性。由于各廠家設(shè)計不同，每個廠商的限定分析面積方式和具體規(guī)格不同，因此僅對分析面積可調(diào)檔數(shù)進行了限定，以避免指定尺寸造成的參數(shù)偏向性，投標(biāo)產(chǎn)品可以滿足該檔位要求即可； （3）針對5.1條，我校要求設(shè)備具備精準(zhǔn)調(diào)控荷電的功能的設(shè)備，可以滿足我校在使用過程中面對不同樣品的需求，無需調(diào)節(jié)電壓、束流和氣壓等操作，也可以大大簡化設(shè)備操作。 （4）針對5.2.2條，使用離子協(xié)同電子進行荷電中和的技術(shù)被廣泛用于XPS設(shè)備，配備離子中和槍能有效保證XPS分析有最大的樣品適用性范圍，避免電子過中和現(xiàn)象導(dǎo)致荷電偏移大幅干擾碳材料的C元素分析，符合測試平臺應(yīng)對各類樣品測試的基本要求。 上述參數(shù)的設(shè)置與實際需要相匹配，經(jīng)采購人確認，市場上不少于三個品牌產(chǎn)品（賽默飛，費勉，貝克斯帝爾等）滿足上述要求，無限制性，故招標(biāo)文件不修改。 注：（1）本項目實施全流程電子化交易，投標(biāo)文件實施網(wǎng)上遠程解密，投標(biāo)人無需前往開標(biāo)現(xiàn)場。 （2）此公告視同采購文件的組成部分，與采購文件具有同等法律效力。請投標(biāo)人及時下載。
四、凡對本次公告內(nèi)容提出詢問，請按以下方式聯(lián)系
1.采購人信息
名稱：安徽工業(yè)大學(xué)
地址：馬鞍山市花山區(qū)湖東北路400號
聯(lián)系方式：0555-2311291
2.采購代理機構(gòu)信息
名稱：安徽公共資源交易集團項目管理有限公司
地址：合肥市濱湖新區(qū)南京路2588號（徽州大道與南京路交口）六樓
聯(lián)系方式：0551-66223922
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人：李工
電話：0551-66223923
附件：更正公告2.pdf